此前，附着力是什么意思小和大工艺要求不严，产品可靠性要求不高。虽然工业生产中允许有一定的清洗残留，但随着精度和可靠性要求的逐步提高，越来越多的微电子制造商正在寻找新的表面清洗方法和等离子表面处理技术，使器件表面的超洁净和彻底清洗，提高产品可靠性，提高产品良率，降低制造成本。从污染物来源来看，微电子器
