放电环境中的光线比较亮，金属件喷涂附着力检测方法用肉眼观察可能真空室内没有放电。 2 氢气 氢气与氧气相似，属于高活性气体，可以活化和清洁表面。氢和氧的差异主要是由于反应后形成的活性基团不同。同时，氢气具有还原性，可用于去除金属表面的细小氧化层，不易形成损伤。表面敏感的有机层。因此，广泛应用于微电子
