由于高密度等离子体源可以在低电压下工作，喷漆附着力差加什么所以可以抑制护套的振动。晶圆刻蚀工艺采用高密度等离子源刻蚀技术，需要使用独立的射频源对晶圆进行偏置，使能量和离子相互独立。离子能量一般在几个电子伏的量级，所以当离子进入负鞘层时，能量加速可达数百。由于它是电子伏特并且具有高方向性，因此离子蚀刻
