这些活性粒子与表面物质发生反应的过程如下:电离—气体分子—激发—激发态分子—清洗—活化表面等离子体产生原理如下。从上图可以看出，玻璃表面喷漆附着力在一组电极上施加射频电压(频率约为几十MHZ)，电极之间形成高频交变电场。在交变电场的激励下，该区域产生等离子体。活性等离子体对被清洗物料表面进行物理轰击
