2.有（机器）东西有杂质的来源更为广泛，油漆附着力不好用什么东西如人体皮肤油、细（菌）、机械油、真空脂、光刻胶、清洁溶剂等。这类污染物通常会在晶圆表面形成一层膜，阻止清洗液到达晶圆表面，导致晶圆表面清洗不彻底，使得金属杂质等污染物清洗后仍完好无损地留在晶圆表面。这类污染物的去除往往在清洗过程的第一步
