二、等离子表面处理器件优化引线连接（引线键合）IC引线键合质量直接关系到器件可靠性微电子器件的键合区干净，连接线等离子蚀刻设备键合性能好，必须配备。氧化剂和残留物等污染物的存在会显着降低引线连接的拉力值。传统的湿法清洗方法足以或不可能去除接头上的污染物，而等离子表面处理设备可以有效去除接头表面的污渍
