参数调整后，达因值怎么调节整个清洗过程一键完成。电源、清洗时间、气体流量、净化真空度等参数均可设定。射频电源（核心器件为美国进口）气体质量流量计为美国进口。模拟量是输入输出。测量范围为0-200sccm。可在测量范围内进行无级调节。针形阀可以控制工艺气体流量。清洗后有提示音，反射功率过大。报警工艺，
