由于等离子体的方向性差，载玻片等离子表面清洗它可以深入物体的毛孔和凹陷处进行清洁，因此不需要过多考虑被清洁物体的形状。而这些难清洗部件的清洗效果与氟利昂清洗效果相当或更好;五、采用等离子清洗，清洗效率可大大提高。整个清洗过程可以在几分钟内完成，因此具有收率高的特点;六、等离子体清洗需要控制真空度Pa
