材料，非金属材料表面改性方法可以大致分为金属和非金属两种，其中金属清洗的目的是主要是去除表面氧化物和有机物，非金属清洗主要是去除表面有机污染物，根据反应机理，气体有两种分类，一种是反应性气体（化学作用），主要是氢气、氧气、四氟化碳等；另一类是非反应性气体（物理作用），主要有氩气、氦气、氮气。当所清洗
