但是，湿法表面改性工艺LED上等离子清洗工艺的选择取决于后续工艺对材料表面的要求、材料表面的性质、化学成分以及污染物的性质。等离子清洗剂可以提高样品的附着力、相容性和润湿性，不同的气体在不同的工艺中使用。 LED等离子清洗设备具有纳米级清洗能力，样品的表面性质在一定条件下也会发生变化。..优点是气体
