根据不同的清洁原料、氧、氩、氢、氮、四氟化碳和其他气体可以使用respectively.3)之间施加高频电压的真空室电极和接地装置,使气体被击穿,并经过辉光放电等离子体电离和发生,如恰巧发生在真空室的等离子体完全包住被加工工件,亲水性材料定义是什么开始清洗,清洗处理时间为几十秒到几十分钟。4)清洗完