4、大功率显微镜观察法适用于相关产品颗粒的去除。5、切片法适用于连续切片观察的行业，软板plasma除胶机如PCB和FPC加工行业，通过制作切片，利用晶体显微镜观察和测量线路板孔内的蚀刻效果。称重法适用于检测等离子体蚀刻和灰化对材料表面的影响。主要目的是验证等离子体处理设备的均匀性，这是一个相对较高
