电子的反应比离子快得多,路面附着力增高因为它们更轻。因此,放置在电子路径中的矩阵在等待阳离子到达时带负电。带负电荷的表面的静电吸引力加速了阳离子朝向表面。碰撞允许这些离子从表面去除材料。氩气适用于以这种方式使表面略微粗糙。可以通过设置等离子体的能量和压力来控制加速离子的能量。例如,将压力增加 1 毫