在等离子清洗机在使用中，会遇到清洗达不到要求、设备本身故障率异常等问题。如何保证等离子清洗机在生产中能够达到工艺要求，同时保证设备的正常稳定运行，等离子清洗设备的维护保养至关重要。在实际生产中，我们发现等离子清洗机一些重要的部件会随着使用时间的推移产生不同程度的氧化、老化、腐蚀等问题，会是引起等离子
真空等离子清洗设备一般包括真空系统,电源系统,供气系统和清洗室,清洗室内安装有电极架,可以将射频电极,地极和悬置极按照一定的方式组合放置,以适应不同的清洗场合。清洗时先将器件装配好,参照它的清洗要求选择一种电极放置方式后放到清洗室中,抽真空至30pa左右,通入清洗气体后加射频电压后产生等离子体。影响