故等离子清洗工作过程可认为是将有机物气化的过程，解析度附着力测量典型的过程可分为四个阶段：1)无机气体被激发为等离子态;2)气相物质被吸附在固体表面;3)被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;4)产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子清洗能可显著提高表面能。但是等离子清洗只能清洗有机物
