样品放入反应室，表面电晕处理与高频一样吗真空泵开始抽到一定真空度，启动电源就产生电晕。气体通过反应室中的电晕进入反应室，与样品表面反应，产生挥发性副产物，由真空泵抽出。1.电晕表面处理仪器电晕在宏观上是电荷平衡的通常电晕呈现电荷平衡，但当受到扰动时，电晕中会发生局部电荷分离并产生电场。电晕Li还具有
