这些气体在等离子体中发生反应,表面改性连接技术具有很高的活性。它会形成自由基,因为这些自由基与材料表面进一步反应,反应机理主要是利用等离子体中的自由基与材料表面发生化学反应,即压力越高越有利。自由基如果以化学反应为主要方法,则需要控制比较高的压力才能进行反应。 (2)物理反应主要是利用等离子体中的离