氩气氩气是惰性气体，橡胶表面改性厂家排名前十电离离子不会与衬底发生化学反应。在等离子体清洗中，氩主要用于衬底表面的物理清洗和粗化，其很大特点是在表面清洗中不会形成精细电子器件的表面氧化。正因如此，氩等离子体清洗机被广泛应用于半导体、微电子、晶圆制造等职业。真空等离子体清洗机中氩离子化产生的等离子体呈
