当使用等离子体时，化学活化法属于表面改性吗会发出辉光，因此称为辉光放电。等离子体清洗的机理主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化”来去除物体表面的污渍。在反应机理方面，等离子体散装清洗通常包括以下过程:无机气体被激发到等离子体状态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应形成产物分子。产
H)等离子清洗可以处理多种材料，表面改性活化度包括金属、半导体、氧化物和高分子材料（聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亚胺、聚酯、环氧树脂等高分子材料）。因为它非常适合清洁不耐热和不耐溶剂的表面。一）等离子等离子清洗去污还可以提高材料的清水，增加物体表面的附着力，提高薄膜的附着力。 PLASMA等离