所以设计等离子清洗机的腔体首先必须是铝，不锈钢喷涂附着力而不是不锈钢；放置晶圆的支架滑动部分应尽量采用不易产生灰尘和被等离子腐蚀的材料；电极和支架易于拆卸和维护。1-2：等离子清洗机反应室内的电极间距、层数和气路分布对晶圆加工的均匀性有很大影响，这些指标需要通过不断的实验进行优化。1-3：等离子清洗
