由于芯片清洗是半导体制造工艺中最重要、最频繁的工序，怎样提高金属与漆的附着力其工艺质量直接影响设备的良品率、性能和可靠性，因此国内外许多公司和科研院所对清洗工艺进行了大量研究。等离子清洗是一种先进的干洗技术，具有环保节能的特点。随着微电子技术产业的快速发展，等离子体清洗机在半导体材料行业的使用日益增
