等离子体清洗剂等离子体处理提高SiO_2薄膜驻极体稳定性的研究；利用等离子体清洁器等离子体对硅衬底上热生长的SiO2薄膜进行表面处理，硅胶表面改性处理设备厂家以提高二氧化硅薄膜驻极体电荷的存储稳定性。有机聚合物驻极体材料具有良好的电荷储存稳定性，市场上销售的驻极体传感器多为有机聚合物驻极体薄膜传感器
