缺点是对表面的损伤小，佛山加工非标等离子清洗机腔体便宜热效应大。这种材料选择性低，腐蚀速度慢。使用化学反应等离子体进行清洗具有清洗速度快、选择性高、能更有效地去除有机（有机）物质的优点，但缺点是表面会形成氧化物。化学反应的缺点比物理反应更难克服。然而，两种反应机理对表面微观形貌的影响存在很大差异。由
