等离子体表面处理机在清洗表面氧化物时使用纯氢虽然效率高，表面张力与表面能附着力但这主要考虑放电稳定性和安全性，在选择氩等离子体表面处理机时应用混合氢是比较合适的，除材料易氧化或还原外，等离子表面处理机还可以采用倒置的氧、氢氩气清洗，以达到彻底清洗的目的。氩:物理轰击是氩清洗的机理。氩原子尺寸大，是一
