(6)其他:等离子体清洗过程中的气体分布、气体流量、电极设置等参数也会影响清洗效果。因此，晶圆等离子体表面活化需要根据实际情况和清洗要求设置具体合适的工艺参数。。当等离子弧离开时，它进入冷却过程。在这个过程中，由于上表面温度迅速下降，材料开始收缩，身体在表面的压力降为零，成为拉应力。在拉伸应力的作用
