CF4气体提供均匀的侧壁保护，蚀刻工艺对人体有害吗并保持一个几乎垂直的侧壁角，以提供侧壁保护。金属铝在等离子工业清洗机中蚀刻的难点是其多层金属复合膜的复杂性。在复合膜中，通常使用TiN或其他抗反射材料作为图像曝光的抗反射层，以及下面的粘附屏障层，如Ti或其他材料，这增加了蚀刻过程的复杂性。(北京等离
