负偏置的作用是增加衬底表面层的离子浓度。当偏压过高时，聚氨酯与铝合金附着力比较由于过多的离子在衬底外层与前体核溅射，形成一个na核，所以在偏压增强成核时，偏压的大小比较合适。。作为真空等离子清洗机的重要组成部分，聚氨酯与铝附着力选择一些结构简单、运行稳定、可靠性高、维修方便、清洁度高的真空泵。这是目
