如果探针电压远高于或低于等离子体电位,线路板plasma清洁则其鞘层宽度会增加,有效收集面积也会增加。此外,更复杂的双探头和发射探头已被证明在许多情况下都非常有用。使用射频驱动的等离子清洁器,等离子电位的振动也会使分析复杂化。一般来说,由于探头采用准静电式,探头偏压通常在等离子体电位下振动,消除了冷