按不同的清洁材料，流平剂影响光油附着力吗可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。3)真空室内电极与接地设备间施加高频电压，使气体被击穿，并发生辉光放电，产生等离子体，使真空室内产生的等离子体完全覆盖被处理的工件，开始清洗作业，一般清洗处理持续时间从几十秒至几分钟不等。4)清洁完毕后，切断电
