第三,线缆plasma表面处理机器等离子表面处理装置由于在工作时靠近工件,所以非常稳定,但工件表面降低了从喷嘴喷出的等离子的温度,从而连续性和保证均匀性。 1)等离子脱胶反应机理:氧气是干法等离子脱胶技术中的主要腐蚀性气体。在真空等离子脱胶机的反应室中,在高频和微波能量的影响下,被电离,产生氧离子、