2、通过等离子体中的高能量粒子，表面配体对纳米颗粒的改性脏污会转化为 稳定的小型分子，并借此将其移除，处理过程中脏污的厚度只允许达到几百纳米 ，因为等离子的清除速度仅能够达到每次几 nm。3、金属氧化物会和工艺气体发生化学反应。作为工艺气体，使用了氢气和氩气或氮气的混合物。等离子体射流的热效应可能会
