采用氩气进行清洗，粘结强度与附着力的关系氩离子以足够的能量轰击器件表面，撞击力足以去除任何污垢。聚合物中的大分子化学键分离成小分子而汽化，通过真空泵排出。同时经过氩等离子表面处理清洗后，能够改变材料表面的微观形态，使材料在分子级范围内变得更加“粗糙”， 可大幅改善表面活性，提
