4. 等离子体对物体表面的影响 除气体分子、离子和电子外，膜厚对附着力的影响真空等离子体表面处理系统的等离子体还具有电中性原子或原子团（也称为自由基）。 光体发射的波的长度和能量水平在等离子体与物体表面的相互作用中起着重要作用。 1）自由基如原子团与物体表面发生反应。 2) 电子对物体表面的影响。
