低温等离子体清洗是半导体封装制造业常用的一种化学清洗形式。这也是等离子清洗的一个突出特点，支架清洗机可以促进晶粒和垫块的导电性。焊料的润湿性，金属丝的点焊强度，塑料外壳覆盖的安全性。在半导体元件、电子光学系统、晶体材料等集成电路芯片应用领域有着广泛的工业应用。半导体封装一般采用真空低温等离子清洗机，
