这包括半导体材料的等离子体蚀刻和等离子体增强化学气相沉积，等离子清洗的作用以及一些环境应用。例如，等离子体中的二次电子键用于去除（去除）不需要的化合物并分解氮化物。气体中激发和电离的环境粒子的存在使等离子表面清洁剂中的新化学反应过程成为可能。在传统化学中，分子能量在 0-0.5EV 范围内发生反应。
