这种分析过程通常用于半导体制造中的 EDP 监控。图 2 下图显示了电容耦合等离子体源的激发凸块的典型腔室结构和等离子体中的光谱辐射。上下电极通电，等离子旋转电极雾化技术一般频率为13.56MHZ。所谓的暗鞘在每一面壁上形成，暗鞘通常被认为是绝缘体或电容器，因此可以通过电容器将功率传递给等离子体。图
