在真空室内，电晕处理是电晕吗通过射频电源在一定压力下形成高能等离激元，再对靶面进行电晕跃迁加工，形成微脱离效应（调节电晕跃迁时间可调节脱离深度，电晕作用为纳米级，不会损伤加工靶），从而达到操作目的。常压电晕反应电晕是指电晕中的活性颗粒能与难粘材料表面发生反应，从而引入大量极性基团，使材料表面由非极性
