活性气体电离产生的高活性活性颗粒在一定条件下与被清洗表面发生化学反应，等离子制粉装置反应产物为可抽出的挥发性物质。适当的反应气体成分非常重要。 .. PE的特点是表面改性，清洗速度快，选择性好，对（有机）污染更有效。缺点是可能形成氧化物。 2 基于物理反应的清洗基于表面物理反应的等离子清洗。也称为溅
