通过改变等离子清洗机的等离子特性、腔侧壁条件、宏观蚀刻不均匀、蚀刻和聚合物沉积、微蚀刻不均匀、垂直和横向蚀刻、图案侧壁保护、影响输出结果的侧翘和等离子损伤例如临界尺寸。通过调整等离子体内部和晶圆表面上发生的化学和物理反应过程，临界密度等离子体它可以调整对优化蚀刻结果很重要的等离子体特性。电子能量分布
