在分子解离过程中，等离子体表面清洗机器常产生自由基，生成的电子与中性原子结合，分子形成负离子。因此，整个等离子体是电子正离子和负离子激发的原子、原子和自由基的混合物。因为各种化学反应都是在高激发态下进行的，这与经典的化学反应不同。这通常会改变等离子体原子或分子的性质，甚至更稳定的惰性气体也会发生化学
