同时，等离子体在集成电路工艺中有哪些应用进行详细的阐述由于绝缘材料的存在，放电过程中形成的壁电荷有效地限制了放电电流。避免无限增长、高压电弧放电和火花。等离子体发生器的惰性气体形成的 DBD 等离子体不含反应性粒子。因此，惰性气体DBD用于材料表面改性时，表面基团的引入主要是通过等离子体在材料表面形
