高频等离子体发生器的功率输出范围为0.5 ~ 1mw，等离子体物质都有什么效率为50% ~ 75%，放电室中心温度一般高达7000 ~ 00开。图5低压等离子体发生器低压等离子体发生器和EMSP:低压气体放电装置一般由三部分组成:等离子体产生电源、放电室、抽真空系统和工作气体(或反应气体)供应系统。
