电极板的数量和大小取决于真空室的大小。 (3) 气体通过气体流量控制器将气体引入真空室，科目四附着力大小对每种气体进行精确稳定的控制，确保等离子体满足印刷电路板的制造要求。活性等离子体由真空泵抽空排出，离进气口越近，活性等离子体浓度越高。因此，真空室内的气体分布必须是均匀分布的，气体分布的均匀分布是
