这种电离气体由原子、分子、自由基、离子和电子组成。等离子体表面处理对物体表面可以实现物体的超净清洗、表面活化、蚀刻、精整和等离子体表面涂层等，硬板等离子体蚀刻机所以有等离子体表面处理蚀刻机、等离子体表面处理清洗机等。根据等离子体中存在的不同粒子，物体处理的具体原理也不同，输入气体和控制功率也不同，实
