40kHz 的反应既有物理的，真空等离子清洗机腔体也有 13.56MHz 的反应 20MHz 有物理反应和化学反应，但更重要的反应是化学反应，在 13.56MHz 或 20MHz 时通过等离子清洗激活，需要化学化（化）和改变。 4、真空等离子清洗机腔体材料的选择目前常用的腔体材料有石英腔体、不锈钢腔
