4. 等离子清洗机方法和程序使用小技巧 2. 使用舱口连接正确连接的管道组件。 3. 将真空软管放在腔体末端，真空等离子清洗机原理图并锁定软管与腔体之间的接头。三通阀指向关闭状态（向下箭头），此时通常为真空操作。首先接通电源，启动真空泵，确保真空泵顺时针旋转（测试后关闭电源）。启动真空泵，承担真空泵
整个清洗进程大致如下；1. 被清洗的工件送入真空式并加以固定，安徽小型真空等离子清洗机原理图发动运行设备，开始排气，使真空室内的真空程度到达10Pa左右的标准真空度。一般排气时刻大约需求几分钟。2. 向真空室内引进等离子清洗用的气体，并保持腔内压强稳定。依据清洗材质的不同，可分贝运用氧气、氩气、氢气