13.56MHz的频率较低，真空等离子清洗分子泵组安装通常小于30°。因此，在处理易受热变形的材料时，低温真空等离子清洗机更为合适。 ..等离子真空吸尘器工作时，腔内的离子是定向的。只要材料在型腔的外露部分，任何表面或角落都可以清洗。第三个不同是离子产生条件。直观的是，大气的种类取决于接入的气体，气
