一些主要的蚀刻工艺是： 1.形成反应颗粒； 2.反应粒子到达晶片表面并被吸附3.晶片表面与化学吸附反应形成化学键并形成反应产物；四。溶液 吸附化学反应产物，什么树脂对锌附着力好一些去除晶圆表面并抽出腔室；示例：SF6 + e-> SF5 + F + e；SF5 + e-> SF4 + F + e；等
