当填充惰性惰性气体（如氩气或氮气）时，真空式等离子处理机供应商纯化过程主要取决于离子的物理影响。此时，可以提高或降低泵速，以降低真空室内的压力。高能量对表面产生冲击。它提高了板子的清洁效果，但不要使工作压力过低。如果压力过低，离子浓度下降，离子冲击装置的表面也会影响清洗效果。当化学清洗为主流时，清洗
