这些可以通过等离子体方法选择性地去除。同时，浙江真空等离子处理机电话氧化层也对键合质量产生不利影响，需要等离子清洗。特征：・ 操作简单，成本低・ 高效真空电极・ 气体流量由流量计和针阀精确控制。 -功率在200W以内可调控制（完全可以满足）清洁需求, 蚀刻功率200W以上）・自动阻抗匹配-自由设置参
